Ознакомление с технологией и производством микроэлектронной апаратуры

Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования
ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ(ТУСУР)
Кафедра Физической электроники (ФЭ)
ТЕХНИЧЕСКОЕ ЗАДАНИЕ
1. Тема практики: Ознакомление с технологией и производством микроэлектронной аппаратуры (тонкопленочная технология).
2. Цель практики: Ознакомиться с технологией и производством микроэлектронной аппаратуры на территории профильной организации АО «НЦП Полюс».
3. Задачи практики:
3.1 Ознакомится с нормативной и технологической документацией производства микроэлектронной аппаратуры;
3.2 Ознакомление с производством микроэлектронной аппаратуры, в т.ч. рабочими местами, оборудованием, оснащением;
3.3 Проведение экспериментальных пробных работ;
3.4 Оформление технического отчета.
4. Исходные данные: Техническая документация, пробный образец – резистивная матрица, Омметр Щ306-1, программа по расчету ЭРИ.
5. Технические требования к отчету по практике: Оформление отчета в соответствии со стандартами ТУСУР.

Направление деятельности предприятия АО «НЦП» Полюс
АО "НПЦ "Полюс" специализируется на создании наукоемкого бортового и наземного электротехнического оборудования, и систем точной механики. Разработанные и изготовленные на предприятии комплексы, и устройства эксплуатируются в автоматических космических аппаратах связи и телевещания ("Молния", "Галс", "Экспресс-А", "Экспресс-АМ", "Глонасс"), дистанционного зондирования Земли ("Ресурс-ДК"), космического мониторинга природной среды ("Метеор"), исследования дальнего космоса ("Фобос", "Марс"), на Международной космической станции.
Из новых научно-технических направлений деятельности следует отметить создание, организацию производства и внедрение корабельных электроприводов и малошумных электровентиляторов для систем вентиляции, кондиционирования, а также нового поколения индукционных датчиков повышенной точности для авиационной техники (АН-148, ЯК-130, АН-70, HJT-36).
3

Производство микросборок (отдел общей технологии, лаборатория №126)
Рисунок 1 – Пример простых МСБ изготавливаемых на АО «НЦП Полюс»
Производство микросборок в ОАО «НПЦ «Полюс» организовано в 1992 году.
В его состав входят участки:
– изготовления фотошаблонов, сетчатых трафаретов, вакуумного напыления, фотолитографии, нанесения и вжигания паст, сборки и монтажа;
– настройки и испытаний, герметизации и контроля герметичности;
– службами предприятия выполняются входной контроль материалов, бескорпусных ЭРИ, в т. ч. ДИ, отбраковочные и приемосдаточные испытания (электрические, механические и климатические, в т.ч. вакуумные), испытания на безотказность.
4

Практическая часть
Проверка работоспособности резисторов
Рисунок 2 – Омметр Щ306-1
Была выдана керамическая подложка с напыленной резистивной матрицей на основе сплава PC-3710.
Проверка показала, что все резисторы рабочие, что говорит о правильности проведения всех технологических операции, предшествующих испытаниям.
5

Практическая часть
Определение разброса номиналов резисторов
Вторая часть состояла в определении разброса образцов по номиналам. На рисунке 3 представлена диаграмма разброса номиналов.
Рисунок 3 – Разброс номиналов резисторов
6

Практическая часть
Определение разброса номиналов резисторов
На основании рисунка можно сделать вывод, что построенный разброс по толщине совпадает с классическим. В центре подложки должна быть максимальная толщина (минимальное сопротивление), а к периферии она должна уменьшаться (максимальное сопротивление). Центр толщины смещен, что наверняка вызвано ошибками в процессе напыления и траления пленок.
В программе Excel были выбраны минимальное и максимальное значение сопротивления. Минимальное значение 9600 Ом, максимальное 10450 Ом. В документации прилагающийся к резистивной матрице указан эталон 9500 Ом, допуск на номинал 10%. Таким образом измеренное сопротивление укладывается в указанный диапазон значении.
7

Практическая часть
Температурный расчет электрорадиоизделии (ЭРИ)
Данная часть практической работы направлена на ознакомление интерфейса программы и определение выделяющейся температуры всей конструкции.
Рисунок 4 – Интерфейс программы для расчета температуры ЭРИ
8

Температурный расчет электрорадиоизделии (ЭРИ)
Практическая часть
В таблице 1 представлены данные для расчета температур
Таблица 1 – Данные для расчета температур
9

Практическая часть
Температурный расчет электрорадиоизделии (ЭРИ)
Рисунок 5 – Результат температурного расчета ЭРИ
10