Жоғары рұқсат етілім литографиясы

Дәріс жоспары
5.1. Массасыздық технология әдістері:
5.1.1. Булық нанолитография.
5.1.2. Нанобаспалы литография.
5.2. Электронды және ионды сәуле қазіргі технология құралы іспеттес.
5.2.1. Электронды-сәулелік технология.
5.2.2. Ионды-сәулелік технология.

5.1. Массасыздық технология әдістері
5.1.1. Булық нанолитография
Наноқұрылымдарды жұқа бетке орнықтырудың ең оңтайлы әдісін Жер бетіндегі ең кішкентай автоқалам шығарумен айналысатын NanoInk компаниясы ұсынды. Олардың қаламсаптарынан шығатын нүкте,сызық және әріптер қарапайым шарикты қалам жазатыннан он мың есеге кіші. Аталған қаламның ұшы кремний нитридінен жасалған. 5.1-сурет.
5.1.-сурет. Автоқалам кантилеверлеу жүйесі және DPN құрылғының сыртқы көрінісі.