BAK 501

BAK 501
Система BAK501 разработана для нанесения покрытий на подложки методом электронно-лучевого (термического) испарения.
Внутри вакуумной камеры материал покрытия испаряется с помощью специального испарителя.
Материал покрытия в виде паров свободно перемещается через вакуумную камеру.
Поскольку процесс температурного испарения может производиться только в условиях высокого вакуума, BAK501 укомплектована таким оборудованием, как вакуумная камера, помпа высокого вакуума и станция предварительной откачки.
Пользователь управляет BAK501 с помощью клавишной панели и монитора, через графический интерфейс пользователя.
Cистемный контроллер KHAN XP BASIC управляет и полностью контролирует функционирование системы.

Процесс-камера основной системы
В процесс-камере BAK501 располагается оборудование для выполнения процесса покрытия.
Камера состоит из каркаса из нержавеющей стали с алюминиевыми панелями и снабжена фланцами для присоединения такого оборудования, как: испаритель, вращающийся привод, детектор толщины наносимой пленки, вакуумные помпы.
Дверь камеры снабжена безопасным стеклом для наблюдения.

Помпа высокого вакуума
Турбопомпа Pfeiffer TMH261 DN 100 ISO-K с контроллером TC600

Предварительная вакуумная помпа
Вакуумная помпа Pfeiffer DUO 05 Baking Pump
Система содержит:
Вакуумные клапаны
Управляющий вакуумный датчик PKR 251
Управляющий вакуумный датчик TPR 280
Газобалластная нагрузка, управляемая вручную
Напольное или консольное крепление
Применение одобрено сертификатом CE
Масло поставляется с помпой

Объединенный распределитель входных источников
BAK501 использует объединенный распределитель для обеспечения системы:
холодной водой
горячей водой
сжатым воздухом
электроэнергией

Набор защитных экранов для камеры высокого вакуума
Защитные экраны предотвращают отложение на стенках и двери камеры частиц наносимого покрытия. Они подразделяются на несколько секторов меньшего размера, которые могут легко устанавливаться и сниматься без использования специальных инструментов. Набор защитных экранов входит в состав системы.

Экран для защиты днища камеры
Защитные экраны предотвращают загрязнение дна камеры. Они подразделяются на несколько секторов меньшего размера, которые могут легко устанавливаться и сниматься без использования специальных инструментов. Набор защитных экранов входит в состав системы.

Вращающийся привод MD 40 с панелью управления
Центрально расположенный вращающийся привод позволяет разместить множество держателей с субстратом.
Комплект поставки включает:
Магнитный привод
Байонетную систему присоединения для закрепления держателей с подложками
Контроллер управления мотором и приводом

Держатель субстрата
Держатель плоских субстратов для 2”, 4” или 6” пластин
для 2” на 32 шт.
для 4” на 8 шт.
для 6” на 4 шт.
Поставка приспособлений для субстрата возможна в соответствии со спецификацией покупателя, например, Flexcalotte

Электронная пушка EBS 500 с ESQ 212 и EEC 300
Состоит из:
Блок источника ESQ 212
Высоковольтный ввод
EHD 110 Блок управления
EEC 300 with Media Supply for 2 Source
Источник высокого напряжения
EHV 500 на 10 kW
Источник тока Filament Current Power Supply EFS 500
Источник тока Coil Current Power Supply ECS 200
Кабельные соединения

Шестиячеечный тигель
Держатель для шестиячеечного тигеля
Подвижная крышка для тигеля
Пневмозаслонка для тигеля
Управляемые заслонки для испарителя

BAK 501 схема размещения внутри камеры

QSK 621 Измеритель толщины наносимого покрытия
QSK621- кварцевая измерительная головка расположена на центральной оси блока вращающегося привода. В состав головки входит магазин с шестью отдельными кварцевыми кристаллами. Это позволяет переключаться с одного кристалла на другой без открытия вакуумной камеры.
Состоит из:
Держатель кварцевых кристаллов на 6 кристаллов
Приспособление для инсталляции QSK 621
Запасной магазин (6 кристаллов) с крышкой для QSK 621

Система управления процессом
"KHAN XP BASIC"
Данные:
PCI – на базе Pentium IV с 512 MB памяти
164 MB memory key
Привод CD-DVD R/W
Жесткий диск >40 GB и 4 RS 232 последовательных порта
Цифровой вход / выход и аналоговый вход / выход модули
XTC/B индикатор кварцевых датчиков
15" плоский монитор и клавиатура
Софт: до 4-х окон интерфейса пользователя Software
(относится и к варианту с SEMATECH )
5 уровней управления с защищенным доступом
Управление автопроцессом (старт, стоп, останов, сброс, шаг назад, шаг вперед)
Ручное управление вакуумной системой и рабочим оборудованием
Соблюдение процесса, управление действующими и фоновыми программами
Учет Alarm-сообщений (память на 300 сообщений по трем различным каталогам)
Сервисные функции (непосредственный доступ к каждому I/O каналу)
Цветной принтер

Вид исполнения
Все системы и устройства, входящие в состав продукта, смонтированы в одном моноблоке

Пространство
Занимаемый объем = д x ш x в
= 1250 x 750 x 2000 мм