Наноэлектромеханические системы. Резонаторы на основе кантиливеров и мембран для НЭМС pechorin

Что такое НЭМС
НЭМС – наноэлектромеханические системы.
Одна из основных тенденций развития современной техники - миниатюризация

Основные тенденции развития НЭМС
Уменьшение размера существующих микроэлектромеханических систем
Разработка принципиально новых молекулярных двигателей и молекулярных электромеханических устройств.

Преимущества НЭМС
Уже в настоящее время на основе НЭМС созданы нанорезонаторы с фундаментальной частотой колебаний выше 10 ГГц (1010 Гц), что еще не так давно казалось недостижимым. Такие резонаторы уже нашли применение в качестве кантилеверов сканирующей зондовой микроскопии, нановесов и наносенсоров биологических молекул и ДНК. Другим очевидным преимуществом НЭМС является их чрезвычайно низкое энергопотребление.

Технологии создания НЭМС

Технологии создания НЭМС
Нанопечатная литография
Зондовая литография

Технологии создания НЭМС
Каталитический рост нанонитей (VLS и SLS)
Темплатный метод

Технологии создания НЭМС
Электроспиннинг

Примеры результатов описанных методов
Нанонити InP, выращенные по механизму VLS
Мембраны нанопористого алюминия
Нанонити, полученные с помощью электроспиннинга