Технологические среды в микроэлектронике. Газоподготовка в электронной технике

Газоподготовка в электронной технике

Числовая маркировка чистоты газов

Схема установки для осушки и очистки от кислорода инертных газов

Чистые помещения в электронной технике

Изолирующие лабораторные шкафы (боксы)

Графическое представление классов чистоты помещений по стандарту ISO 14644 -1

Классификация чистых помещений и чистых зон по ISO 14644-01

Чистые помещения с различными направлениями газовых потоков

Чистое помещение с вертикальным однонаправленным потоком воздуха

Схематическое изображение чистых помещений трех типов: а – чистое помещение зального типа; б – чистое помещение туннельного типа; в – чистое помещение с минизонами

Водоподготовка в электронной технике

Требования к качеству воды после очистки

Примеси и методы их удаления

Осмос и обратный осмос

Упрощенное представление обратно-осмотической системы

Схема движения потоков воды и ионов в ячейке электродеионизатора