Содержание
- 2. Что такое МЭМС? Микроэлектромеханические системы (МЭМС) – это системы, включающие в себя взаимосвязанные механические и электрические
- 3. Что такое МЭМС? Электроника МЭМС = + Микромеханика
- 4. История создания 1958 г. - первые прототипы интегральных схем (ИС); 1960 г. - мелкосерийный выпуск ИС;
- 5. Способы изготовления Изготовление МЭМС Объемная микрообработка (bulk micromachining) Субтрактиный подход – от целого отсекаем лишнее (как
- 6. Объемная микрообработка Микрозахват (microgripper) Микрокантилеверы Это процесс, идущий от поверхности материала-основы вглубь, при которой травлением последовательно
- 7. Объемная микрообработка Si SiO2 Si SiO2 Si SiO2 Si Фоторезист SiO2 Si Отжиг Литография RIE XeF2
- 8. Поверхностная микрообработка Система зубчатой передачи Элемент тепловизионной матрицы Это процесс, заключающийся последовательных циклах нанесение тонких слоев
- 9. Поверхностная микрообработка
- 10. Обобщенная схема изготовления МЭМС
- 11. Применение МЭМС Исполнительные механизмы (актуаторы): Микродвигатели; Микрозахваты; Микрозеркала; Датчики: Акселерометры; Гироскопы; Магнетометры; Датчики давления расходометры Области
- 12. Высокочастотные МЭМС ключи Земля Земля Сигнал h0 Земля Земля S Вид сбоку Вид сверху F1 F2
- 13. Высокочастотные МЭМС ключи Vкр= 30-50В
- 14. Датчик давления на основе МЭМС Датчики давления пьезорезистивного типа Датчики давления емкостного типа P1 P2 F1
- 15. Акселерометры и гироскопы F1 F2
- 16. Акселерометры и гироскопы
- 17. Оптические МЭМС Элементы МОЭМС: зеркала, призмы, линзы Электростатически управляемое микрозеркало
- 18. Оптические МЭМС: DLP Устройство отклоняющих зеркал Красной стрелкой показан путь луча света от лампы к матрице,
- 19. Оптические МЭМС: микроболометры Инфракрасное излучение пройдя сквозь систему линз попадает на поглощающий элемент, нагревая его. Рядом
- 20. Исполнительные механизмы МЭМС В исполнительных механизмах на основе МЭМС технологий обычно задействуются следующие компоненты: 1. Элементы
- 21. Исполнительные механизмы МЭМС Пьезакерамический элемент сканера атомно-силового микроскопа Биморфный (Si - Al) элемент. Стрелкой показано направление
- 22. Исполнительные механизмы МЭМС Электростатические актуатор линейного движения Электростатические актуатор углового движения
- 24. Скачать презентацию