Осаждение нитрида кремния

Нажмите кнопку мышки
или пробел для продолжения
Все слайды собственность Cronos
Добавление слоя
поликремния (Поли0)

Нажмите кнопку мышки
или пробел для продолжения
Все слайды собственность Cronos
Нанесение изображения через
1-ый уровень маски (Поли0),
используя литографию
Фоторезист

Нажмите кнопку мышки
или пробел для продолжения
Все слайды собственность Cronos
Удаление ненужного Поли0,
используя реактивное
ионнное травление

Нажмите кнопку мышки
или пробел для продолжения
Все слайды собственность Cronos
Осаждение 1-ого слоя оксида,
используя LPCVD
(химическое осаждение из газовой
фазы при пониженном давлении)

Нажмите кнопку мышки
или пробел для продолжения
Все слайды собственность Cronos
Нанесение изображения
через маску 2-го уровня
(углубление)
используя фотолитографию...
Фоторезистt
и глубинное реактивное
ионное травление

Нажмите кнопку мышки
или пробел для продолжения
Все слайды собственность Cronos
Нанесение изображения
через маску 2-го уровня
(углубление)
используя фотолитографию...
Фоторезист
и глубинное реактивное
ионное травление

Нажмите кнопку мышки
или пробел для продолжения
Все слайды собственность Cronos
Нанесение безпримесного
осаждённого слоя поликремния (Поли1)
используя LPCVD…
Затем осаждение PSG
(фософосиликатного стекла)
и отжиг

Нажмите кнопку мышки
или пробел для продолжения
Все слайды собственность Cronos
Нанесение изображения через
4-й уровень маски (Поли1),
используя фотолитографию...
Фоторезист
и глубинное реактивное
ионное травление

Нажмите кнопку мышки
или пробел для продолжения
Все слайды собственность Cronos
Осаждение 2-го слоя
оксида

Нажмите кнопку мышки
или пробел для продолжения
Все слайды собственность Cronos
Нанесение изображения через
маску 5-го уровня, используя
фотолитографию и
глубинное реактивное
ионное травление

Нажмите кнопку мышки
или пробел для продолжения
Все слайды собственность Cronos
Нанесение изображения через
маску 6-го уровня, используя
фотолитографию и
глубинное реактивное
ионное травление

Нажмите кнопку мышки
или пробел для продолжения
Все слайды собственность Cronos
Осаждение безпримесного поликремния,
затем нанесение PSG
(фосфосиликатное стекло)
слоя жёсткой маски,
затем отжиг

Нажмите кнопку мышки
или пробел для продолжения
Все слайды собственность Cronos
Нанесение изображения через
маску 7-го уровня, используя
фотолитографию и
глубинное реактивное
ионное травление

Нажмите кнопку мышки
или пробел для продолжения
Все слайды собственность Cronos
Нанесение изображения через
маску 8-го уровня, используя
фотолитографию и отрыв,
затем удаление ненужного
фоторезиста и металла
в ванне растворителя