Слайд 2Цель работы
Разработка физических принципов, методического и приборного обеспечения нового метода спектральной
магнитоэллипсометрии для in situ диагностики структурных, оптических и магнитных свойств наноматериалов и структур спинтроники.
Слайд 3Для достижения цели необходимо выполнить следующие задачи:
Разработать и оптимизировать новый метод
спектральной магнитоэллипсометрии.
2. Создать методическое обеспечение спектральной магнитоэллипсометрии
3. Разработать принципы работы и макет автоматизированного
измерительно-ростового комплекса, включающего в себя: высоковакуумный
ростовой модуль, встроенный в вакуумную камеру
электромагнит для измерения эффекта Керра,
температурную приставку для измерений в диапазоне 77K-800K,
оптическую и электронную схемы измерительного модуля.
4. Провести тестирование комплекса на модельных системах.
5. Отработать методики in situ диагностики структурных,
оптических и магнитных свойств многослойных
магнитных наноматериалов и структур спинтроники.
Слайд 4Задел исполнителей
В результате сотрудничества двух коллективов в технологическую камеру установки МЛЭ «Ангара»
встроен лазерный эллипсометр для in situ измерений. С помощью этого эллипсометра исследованы форма и размеры островков железа на подложке Si, отработан метод контроля толщины слоев Fe и Si в процессе роста наноструктур Fe/Si. Разработан и запущен в 2007г. уникальный керровский магнитометр на базе лазерного эллипсометра для in situ контроля магнитных свойств пленок.