ВТОРИЧНЫЙ ИОННЫЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТР PHI-6600 фирмы “PERKIN ELMER”
РЕНТГЕНОВСКИЙ ФОТОЭЛЕКТРОННЫЙ СПЕКТРОМЕТР PHI-5500 фирмы “PERKIN ELMER” Исследование химического состава твердофазных материалов методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) основано на анализе энергетического распределения фотоэлектронов, эмитированных с поверхности вещества в вакууме при его возбуждении рентгеновскими фотонами. Информативность метода: ♦идентификация всех химических элементов, кроме водорода и гелия, ♦полуколичественный анализ, ♦определение химического состояния элемента, ♦глубина анализа от 5 до 50 Ао, ♦чувствительность метода – 0,1-0,3 ат.% Технические возможности прибора определяются уникальным сочетанием прецизионного энергетического анализатора сферического типа, оснащенного входной двухступенчатой системой электростатических линз, многоканального детектора фотоэлектронов; стандартного рентгеновского источника с двойным анодом (Al и Mg ka излучение) и источника монохроматизированного излучения (Al ka излучение). Область анализа регулируется апертурой анализатора и напряжением на входных линзах (контролируется через компьютер), при этом для круглой области анализа диаметр меняется от 150 мкм до 1100 мкм, а для щели – от 0,6x2 до 3x10 мм2. Ионная пушка с дифференциальной откачкой, встроенная в камеру анализа, позволяет очищать поверхности образцов от адсорбированных на воздухе примесей, а также осуществлять ионное травление образцов на глубину порядка сотен нанометров. Низкое давление остаточных газов в камере анализа до 3∙10-8 Па обеспечивается работой ионного насоса с высокой скоростью откачки, а также системой загрузки образца, предусматривающей предварительную его откачку в специальной камере, и ввод образца в тестовую камеру без заметного повышения давления. ЭЛЕКТРОННЫЙОЖЕ-СПЕКТРОМЕТР PHI-680 фирмы “PHYSICAL ELECTRONICS” Исследование элементного состава твердофазных материалов методом электронной Оже-спектроскопии (ЭОС) основано на анализе энергетического распределения Оже-электронов, эмитированных с поверхности вещества в вакууме при его возбуждении электронным пучком. Информативность метода: ♦идентификация всех химических элементов, кроме водорода и гелия, ♦полуколичественный анализ, ♦определение химического состояния элемента, ♦высокая локальность ~10 нм, ♦глубина анализа от 5 до 50 Å, ♦чувствительность метода – 1-3 ат.% Технические возможности установки определяются уникальным сочетанием высокодисперсионного цилиндрического анализатора с системой электростатических линз, ограничивающих область анализа, многоканального детектора Оже-электронов, уникального источника электронов. Ионная пушка с дифференциальной откачкой, встроенная в камеру анализа, позволяет очищать поверхности образцов от адсорбированных на воздухе примесей, а также осуществлять ионное травление образцов на глубину порядка 1 мкм. Низкое давление остаточных газов в камере анализа обеспечивается работой ионных насосов с высокой скоростью откачки, а также системой загрузки образца, предусматривающей предварительную его откачку в специальной камере и ввод образца в тестовую камеру без заметного повышения давления. Наличие устройства для скола образцов позволяет получать атомарно чистые поверхности в сверхвысоком вакууме.
Slaidy.com
