ВТОРИЧНЫЙ ИОННЫЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТР PHI-6600 фирмы “PERKIN ELMER”

РЕНТГЕНОВСКИЙ ФОТОЭЛЕКТРОННЫЙ СПЕКТРОМЕТР PHI-5500
фирмы “PERKIN ELMER”
Исследование химического состава твердофазных материалов методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) основано на анализе энергетического распределения фотоэлектронов, эмитированных с поверхности вещества в вакууме при его возбуждении рентгеновскими фотонами.
Информативность метода:
♦идентификация всех химических элементов, кроме водорода и гелия,
♦полуколичественный анализ,
♦определение химического состояния элемента,
♦глубина анализа от 5 до 50 Ао,
♦чувствительность метода – 0,1-0,3 ат.%
Технические возможности прибора определяются уникальным сочетанием прецизионного энергетического анализатора сферического типа, оснащенного входной двухступенчатой системой электростатических линз, многоканального детектора фотоэлектронов; стандартного рентгеновского источника с двойным анодом (Al и Mg ka излучение) и источника монохроматизированного излучения (Al ka излучение).
Область анализа регулируется апертурой анализатора и напряжением на входных линзах (контролируется через компьютер), при этом для круглой области анализа диаметр меняется от 150 мкм до 1100 мкм, а для щели – от 0,6x2 до 3x10 мм2.
Ионная пушка с дифференциальной откачкой, встроенная в камеру анализа, позволяет очищать поверхности образцов от адсорбированных на воздухе примесей, а также осуществлять ионное травление образцов на глубину порядка сотен нанометров.
Низкое давление остаточных газов в камере анализа до 3∙10-8 Па обеспечивается работой ионного насоса с высокой скоростью откачки, а также системой загрузки образца, предусматривающей предварительную его откачку в специальной камере, и ввод образца в тестовую камеру без заметного повышения давления.