Слайд 2ЧТО ЖЕ ТАКОЕ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА?
Микроэлектроника — подраздел электроники, связанный с изучением и производством
электронных компонентов с геометрическими размерами характерных элементов порядка нескольких микрометров и меньше.
С развитием техники размеры компонентов постоянно уменьшаются. При очень большой степени интеграции компонентов, а следовательно при очень малых размерах каждого компонента, очень важна проблема межэлементного взаимодействия — паразитные явления. Одна из основных задач проектировщика — компенсировать или минимизировать эффект паразитных утечек.
Слайд 3ИЗГОТОВЛЕНИЕ ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
Производство изделий микроэлектроники включает определенный ряд последовательно и параллельно проводимых
обработок - операций, выполняя которые постепенно из исходных материалов получают готовые изделия
Слайд 4ПРОЦЕСС ПРОИЗВОДСТВА ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
Механическая обработка полупроводниковых пластин
Химическая обработка
Фотолитография
Введение электрически активных примесей в
пластину