Общая схема МЭМС. МЭМС с 3-х аксиальными гироскопами и акселерометрами различных компаний

Введение
Микроэлектромеханические системы (МЭМС) - это системы, включающие в себя взаимосвязанные механические и электрические компоненты с характерным размером от 1 до 100 мкм.

Структурная схема MEMS

Механическая составляющая MEMS
Микроактуатор в MEMS
Чувствительный элемент ButterflyGyro

Типы микросистем
Современные струйные печатающие головки ThinkJet HP представляют собой ещё более сложные устройства, полностью интегрированные монолитные CMOS MEMS устройства. Эволюция технологии TIJ HP показана на рисунке.

STMicroelectronics (ST). Многоосевые акселерометры и гироскопы

LIS331EB

L3GD20H

L3G4200D

ADXL375 от Analog Devices

Комплексы из гироскопа и акселерометра
Silicon Sensing Systems Ltd и инерциальный прибор DMU02
Эволюция гироскопов Silicon Sensing

микросхема MPU-6050