Содержание
- 2. План выступления 1. Рентгеновское излучение. Рентгенооптические элементы 2. Многослойные зеркала 3. Методы синтеза многослойных структур 4.
- 3. 1.1. Особенности рентгеновского излучения Рентгеновский и ЭУФ диапазон λ = 0.01- 60 нм ⏐1 - ε⏐
- 4. 1.2. Элементы рентгенооптики Элементы для управления рентгеновскими пучками (распространение, направление, угловые и спектральные характеристики) Кристаллы Зонные
- 5. Кристаллы Условие Вульфа-Брэгга: 2d⋅sinθ = nλ Достоинство: Сочетание высоких R с высокой селективностью E/ΔE Недостатки: Зачастую
- 6. Зонные пластинки Фокусирующий элемент, аналог линзы Чередующаяся последовательность прозрачных и непрозрачных кольцевых зон Френеля Достоинство: Высокое
- 7. «Линзы» Кумахова Принцип: многократное полное внешнее отражение от стенок Достоинство: Нет ограничения на апертуру – высокая
- 8. 2. Многослойные зеркала Принцип: интерференция волн, отражённых от границ раздела материалов 2d sin θ = mλ
- 9. Отражательные характеристики МЗ Для заданного угла падения Первостепенно: R(λ) в окрестности рабочей λ (Rпик, Δλ) Второстепенно:
- 10. Характеристики МЗ как элемента оптики Система подложка + покрытие Плоская или с кривизной Линейные размеры ~
- 11. Разработка и синтез МЗ Выбор материалов Расчёт отражательных характеристик Синтез структур Измерение характеристик, определение истинных параметров
- 12. Выбор материалов 1. Выбор базового материала Im (ε1) минимальна 2. Выбор контрастного материала |Re(ε2-ε1)|/Im (ε2) максимально
- 13. Расчёт характеристик 1. Приближённый метод медленных амплитуд | ε2-ε1| Преимущества: рецепт выбора материалов и параметров структуры,
- 14. Разработка и синтез МЗ Выбор материалов Расчёт отражательных характеристик Синтез структур Измерение характеристик, определение истинных параметров
- 15. 3.1. Вакуумный объём Приемлемое давление остаточных газов: P ~ 7 ÷ 8 ·10-5 Па Основной вклад
- 16. Электронно-лучевое испарение Принцип: нагрев мишени пучком электронов, испарение и конденсация на подложке Недостатки: низкая стабильность потока
- 17. Импульсно-лазерное напыление Принцип: использование лазерного излучения для «выбивания» материала с поверхности мишени с последующим его осаждением
- 18. Ионно-пучковое напыление Принцип: использование пучка ионов для распыления материала мишени с последующим осаждением его на подложке
- 19. Магнетронное напыление: магнетрон Принцип: ионы плазмы устремляются к мишени, находящейся под отрицательным потенциалом и выбивают атомы
- 20. Магнетронное напыление: установка Установки в ИФМ РАН: 2-х, 4-х и 6-ти магнетронные – распыление до 6
- 21. Магнетронное напыление: процесс
- 22. Разработка и синтез МЗ Выбор материалов Расчёт отражательных характеристик Синтез структур Измерение характеристик, определение истинных параметров
- 23. 4. Измерение характеристик Жест. рент. λ=0,154 нм Мягк. рент. и ЭУФ
- 24. Влияние межслоевой шероховатости Учёт шероховатости σ: R=Ridexp(- 4π2n2σ2/d2) МЗ Mg/Si d=15 нм МЗ La/B4C d=3.5 нм
- 25. Межслоевая шероховатость Методы: Вариация энергии распыляющих ионов Осаждение барьерных слоев Ионное ассистирование и полировка
- 26. Влияние плотности плёнок Поскольку ε=f(ρ), то R=F(ρ) Зависимость R от ρ La для МЗ La/B4C
- 27. Влияние непериодичности структуры Сравнение 1-го брэгговского пика (λ=0,154 нм) для периодического МЗ La/B4C d=3,5 нм и
- 28. Разработка и синтез МЗ Выбор материалов Расчёт отражательных характеристик Синтез структур Измерение характеристик, определение истинных параметров
- 29. Отслаивание плёнки Скручивание при стравливании Деформация подложки Внутренние напряжения в МЗ Негативные последствия
- 30. Внутренние напряжения в МЗ Требование: точность формы поверхности элемента схемы 0,3-0,6 нм Осаждённое на подложку МЗ
- 32. Скачать презентацию