Влияние ориентации модифицированных структур на эффективность процесса направленного травления кварцевого стекла

2
МЕТОД НАПРАВЛЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ
В настоящее время появляется эффективная технология обработки кварцевого стекла, которая совмещает в себе два имеющихся, таких как обработка лазером с ультракороткой длительностью импульса и жидкостное безмасочное травление.
Суть данного метода заключается в последовательной локальной модификации кварцевого стекла с помощью лазерного излучения и последующим жидкостным травлением в растворе плавиковой кислоты либо едкого калия без нанесения защитных масок.

3
МЕТОД НАПРАВЛЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ
Структуры, получаемые данным методом(вверху)
Резонатор гироскопа типа tuning fork (внизу)

4
СХЕМА УСТАНОВКИ
Структурная схема установки

5
ПРОБЛЕМА ПОЛЯРИЗАЦИИ
Структуры, полученные в кварцевом стекле под воздействием лазерного излучения, имеющего линейную (слева и по центру) и круговую (справа) поляризацию

6
РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ
Пазы, полученные методом направленного травления при различных типах поляризации лазерного излучения

7
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
В работе представлены результаты эксперимента по определению влияния ориентации модифицированных структур на эффективность процесса направленного травления кварцевого стекла. В результате эксперимента были получены данные о скорости травления модифицированного материала и выявлено существенное влияние направления поляризации лазерного излучения к направлению движения заготовки.