Микросистемная техника « Введение в MЭMС ».

МИРОВОЙ УРОВЕНЬ
Датчики давления
Более 500 млн /год
Акселерометры
Более 90 млн /месяц
Гироскопы
Более 100 млн /год
BMW 740i - более 70 МЭМС датчиков
Более 1 млн микрозеркал
Цифровое микрозеркальное устройство фирмы TI
Микротурбогенератор
2,2 млн оборотов / мин
60 Вт
Сопловые устройства струйных принтеров
Более 500 млн /год
Более 0,50 млн /год
РАЗВИТИЕ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ
Перспектива: замена батарей питания

РАЗВИТИЕ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ
Число механических компонентов, М
Число транзисторов, Т
109
109
Т=107… 108
М=104… 106
Уровень и прогноз
Рост числа элементов – новое качество

РАЗВИТИЕ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ
Мировой уровень продаж 2004 год
Микросистемная техника
18 млрд долларов
Микроэлектромеханические системы
6 млрд долларов
Распределение продаж по отраслям
Транспорт 42,9%
Медицина 23,8%
Военная техника 14,3%
Информационные технологии 14,3%
Промышленная автоматизация 4,8%

МЭМС
МОЭМС
МЭМС – флюидика
Био-МЭМС
MOEMS
Bio-MEMS
Microfluidics

МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ
ДАВЛЕНИЯ
Датчик промышленного стандарта
Автомобильный датчик
Годовой выпуск более 500 млн
Защитный гель
Пластиковый корпус