Высокие технологии в Красноярске

1. Зачем

Проблема №1: Пыль
Частицы размером менее 50 микрон не падают вниз!

Поперечное сечение чипа
Тонкие пленки

Пылинки-убийцы
Короткое замыкание
Разрыв проводников

Класс чистоты помещения

2. Строительство нанолаборатории
Федеральный стандарт чистых помещений 209D (США)

Расчеты воздушных потоков системы
Давление
Ограничение: скорость воздуха в трубах < 6м/с

Отличие турбулентного от ламинарного потока
Турбулентный
Ламинарный

Расчеты и сравнение различных геометрий раскладок потолочных фильтров наноцеха
“плотные шахматы”
“редкие шахматы”
Геометрия “ряды”
По скорости*:
По турбулентности:
*на высоте 1.5м от пола

Этапы стройки. Этап 1: зачистка.

Этап 3: сварка-монтаж каркаса.

Этап 4: фильтровальные модули.

Этап 5: монтаж воздуховодов и светодиодных светильников
Заливка антистатического пола

Этап 6: Монтаж стен и кондиционера.

Цифровой кондиционер
G4
F5
F9
H14
G4
F5

Этап 7: Газовая обвязка, вода, азот.
19шт
4атм., 120л/мин
Азот:
99.99% - 120л/мин
99.999% - 60л/мин

Цифровое управление кондиционированием
и продувкой воздуха газовых комнат
Приток
Вытяжка

Чистые комнаты класса ИСО-6/5

Установка оборудования

Подключение системы подачи газов для роста,
травления и отжига тонких пленок

Нанолаборатория готова к работе

Изготовлены опытные образцы конденсаторов с тонкоплёночными диэлектриками: 44нм Al2O3 и HfO2 на кремнии
200 мкм
3. Опытные изделия нанолаборатории

Типовые значения конденсаторов
Ёмкость, нФ
Добротность
Площадь, мкм^2

Отличие от импортных конденсаторов
Наши конденсаторы

Новый тип конденсаторов - на медной подложке

2-слойные СВЧ фильтры Б.А. Беляева

Характеристики кремниевого фильтра
Si
0.8мм
4.5мм