— первый вуз в СССР, который начал подготовку специалистов в области микроэлектроники. Заведующий кафедрой c 1997 года — доктор технических наук, профессор В. С. Першенков.
В 1962 году по заказу редакции журнала «Радиотехника» И. П. Степаненко и Л. Н. Патрикеев опубликовали в нём обзор «Современное состояние и перспективы развития микроэлектроники». В августе того же года ЦК КПСС и Совет Министров СССР принял постановление № 831–353 о создании в г. Зеленограде центра микроэлектроники и об открытии в одиннадцати ведущих вузах страны проблемных лабораторий микроэлектроники. В число этих вузов был включён и МИФИ. Научное руководство лабораторией было поручено И. П. Степаненко.
Фундаментальные результаты работ проблемной лаборатории в первые же годы ее деятельности, — теория приборов с S-образной характеристикой, разработка элементов памяти на полевых транзисторах, разработка универсальной варанторной схемотехники, — позволили укрепить авторитет МИФИ. Не случайно, что именно в МИФИ 1 февраля 1965 года приказом Минвуза была организована первая в стране кафедра микроэлектроники.