Фотолитография-Экологические аспекты

Фотолигография
Это метод получения определённого рисунка на поверхности материала, широко используемый в микроэлектронике и других видах микротехнологий, а также в производстве печатных плат

Отличие фотолитографии от других видов литографии:
Экспонирование производится светом, тогда как в других видах литографии для этого используется рентгеновское излучение, поток электронов или ионов и другое

Процесс фотолитографии
Состоит из 6 операций:
1) Подготовка поверхности
2) Нанесение фоторезиста
3) Экспонирование
4) Проявление фоторезиста
5) Обработка поверхности
6) Удаление фоторезиста

Выбросы вредных веществ в процессе фотолитографии:
Ожидаемые выбросы вредных веществ: диоксан, гидроокись натрия, аммоний фтористый, толуол, кислота азотная, кислота уксусная, водород фтористый

Сточные воды, поступающие от технологического оборудования при фотолитографии:
1) Промывные воды, сбрасываемые непрерывно и содержащие в своём составе кислоты, щёлочи, соли металлов в сравнительно небольших количествах
2) Хромостоки, содержащие в своём составе соли хрома
3) Отработанные концентрированные растворы, электролиты, кислоты и щёлочи не содержащие нитриты и нитраты, азот аммонийный, хром

Заключение:
Предприятия, занимающиеся фотолитографией должны обеспечивать и улучшать системы безопасности, включающие в себя вытяжную вентиляцию, отвод и утилизацию газовых выбросов, а также переработку жидких отходов для минимизации негативного воздействия на окружающую среду