Содержание
- 2. МЭМС – микроэлектромеханические системы – устройства, представляющие собой синтез микроэлектронных и микромеханических компонент. В Японии МЭМС-технологии
- 3. Изготовление МЭМС: МЭМС-устройства обычно изготавливают на кремниевой подложке с помощью технологии микрообработки, аналогично технологии изготовления однокристальных
- 4. Применение МЭМС: Области применение МЭМС обширны: связь, системы подвижных зеркал для мультимедийных проекторов, микрофоны, гироскопы и
- 5. Рынок полупроводниковых приборов к 2011 году достиг ∼300 млрд. долл., то продажи МЭМС-компонентов составили всего 10,2
- 6. АКСЕЛЕРОМЕТР Датчик движения, измеряющий линейное изменение ускорения: Статическое - гравитационное Переменное – вызванное ускорение или вибрация
- 7. а ИМ Корпус Датчик Общая схема акселерометра k R F х
- 8. Резонансная частота Добротность резонанса Спектральная плотность смещения Спектральная плотность силы термомеханического шума механического сопротивления Соотношение спектральной
- 9. ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ (КОМПРЕССИОННЫЙ) АКСЕЛЕРОМЕТР Преимущества: миниатюрные (весом несколько десятых грамма), низкочастотные (от сотых долей герца) и высокочастотные
- 10. Основной принцип работы акселерометров на пьезоэлементах При продольной деформации пьезоэлемента генерируемый в результате прямого пьезоэффекта электрический
- 11. ЁМКОСТНОЙ АКСЕЛЕРОМЕТР Преимущества: Отсутствие необходимости материалов со специальными свойствами Высокая чувствительность Стабильность при детектировании стат.ускорения Малая
- 12. Основной принцип работы конденсаторных акселерометров
- 13. Физические модели
- 15. MEMS-акселерометр разработки Sandia Labs
- 16. ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ устройства, предназначенные для определения давления. Виды датчиков: Тензорезистивные Ёмкостные Основные характеристики датчиков: Диапазон измерений
- 17. ТЕНЗОРЕЗИСТИВНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ Датчики изготавливают на основе следующих материалов: На основе объёмного кремния На основе поликремния
- 20. ЁМКОСТНОЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ Виды: Керамические преобразователи Кремниевые ёмкостные первичные преобразователи Преобразователи с упругой металлической мембраной
- 23. Скачать презентацию