Слайд 2Темы лекции
Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и на
![Темы лекции Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и на неравноплечем лазерном интерферометре.](/_ipx/f_webp&q_80&fit_contain&s_1440x1080/imagesDir/jpg/1087755/slide-1.jpg)
неравноплечем лазерном интерферометре.
Слайд 3Зачем нужно контролировать форму поверхности?
Для минимизации искажений изображения
Точность формы <=> точность волнового
![Зачем нужно контролировать форму поверхности? Для минимизации искажений изображения Точность формы точность волнового фронта](/_ipx/f_webp&q_80&fit_contain&s_1440x1080/imagesDir/jpg/1087755/slide-2.jpg)
фронта
Слайд 4Виды ошибок
Общая ошибка – отклонение диаметра всей поверхности от заданного
Местная ошибка –
![Виды ошибок Общая ошибка – отклонение диаметра всей поверхности от заданного Местная](/_ipx/f_webp&q_80&fit_contain&s_1440x1080/imagesDir/jpg/1087755/slide-3.jpg)
отклонение части поверхности
Измеряется в количестве интерференционных колец (λ/4)
Слайд 5Пробное стекло
1 полоса (кольцо) – отклонение в λ/2 (0,55 мкм / 2
![Пробное стекло 1 полоса (кольцо) – отклонение в λ/2 (0,55 мкм / 2 = 0,28 мкм)](/_ipx/f_webp&q_80&fit_contain&s_1440x1080/imagesDir/jpg/1087755/slide-4.jpg)
= 0,28 мкм)
Слайд 7Непосредственное измерение местных ошибок плоских деталей
Профилометр
Чувствительный датчик с головкой, касающейся поверхности детали
Применяется
![Непосредственное измерение местных ошибок плоских деталей Профилометр Чувствительный датчик с головкой, касающейся](/_ipx/f_webp&q_80&fit_contain&s_1440x1080/imagesDir/jpg/1087755/slide-6.jpg)
для оценки шероховатости, а также оценки искривления плоской поверхности
Широко применяется для оценки поверхности кремниевых пластин в микроэлектронике
Слайд 16Неравноплечий лазерный интерферометр
![Неравноплечий лазерный интерферометр](/_ipx/f_webp&q_80&fit_contain&s_1440x1080/imagesDir/jpg/1087755/slide-15.jpg)