Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и на неравноплечем лазерном интерферометре

Темы лекции
Контроль формы оптических поверхностей пробным стеклом, на интерферометре Физо и на неравноплечем лазерном интерферометре.

Зачем нужно контролировать форму поверхности?
Для минимизации искажений изображения
Точность формы <=> точность волнового фронта

Виды ошибок
Общая ошибка – отклонение диаметра всей поверхности от заданного
Местная ошибка – отклонение части поверхности
Измеряется в количестве интерференционных колец (λ/4)

Пробное стекло
1 полоса (кольцо) – отклонение в λ/2 (0,55 мкм / 2 = 0,28 мкм)

Непосредственное измерение местных ошибок плоских деталей
Профилометр
Чувствительный датчик с головкой, касающейся поверхности детали
Применяется для оценки шероховатости, а также оценки искривления плоской поверхности
Широко применяется для оценки поверхности кремниевых пластин в микроэлектронике

Теневой метод Фуко (нож)

Метод Гартмана

Интерферометр Физо

Неравноплечий лазерный интерферометр

Микроинтерферометр