применением можно создавать новые электронные приборы, принципы работы которых основаны на квантовых эффектах. Среди них - сверхрешетки, периодические пленочные системы с толщинами слоев от 1 до 100 нм, синтезируемые на поверхности монокристаллической матрицы. Если характерные размеры (периоды сверхрешетки) будут достаточно малыми (меньше чем длина свободного пробега электронов), то при наличии почти идеальных границ вся электронная система перейдет в квантовый режим с особыми характеристиками. Для реализации требуемой искусственной периодичности предложены два типа сверхрешеток: сверхрешетки с переменным легированием и композиционные сверхрешетки, в которых чередуются тонкие слои материалов различного состава. На рис. 3 показана композитная трехслойная сверхрешетка, полученная с помощью молекулярно-лучевой эпитаксии. Изображение структуры в поперечном сечении увеличено в 800 тыс. раз. Светлые полосы - это соединения цинка и селена, широкие темные полосы - соединения цинка, магния и селена. Эта идея привела к развитию и появлению новых методов тонкопленочной технологии, таких как молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ), химическая сборка (ХС) или атомно-слоевая эпитаксия (АСЭ), осаждение из металлоорганических соединений, так называемая МОС-гибридная технология.
Рисунок 3. Слоевой нанокомпозит