Ионное испарение. Механизм распыления при ионном испарении. Катодное испарение: диодное, диодное со смещением и триодное
Что такое тонкие плёнки и зачем они нужны? Тонкие пленки – это слои вещества толщиной от долей нанометра до нескольких микрометров, обладающие рядом особенностей атомно- кристаллической структуры, магнитных, электрических и других физических свойств. Тонкие пленки, и в особенности - наноструктурированные тонкие пленки, играют очень важную роль в современной технике. Их значение в научно-техническом прогрессе чрезвычайно велико. Они используются в самых разнообразных областях науки и техники, например, в качестве защитных покрытий, для преобразования солнечной энергии в электрическую, в сверхпроводниковых приборах, в интегральной и функциональной микро- и наноэлектронике, компьютерной технике, в медицине, фармокологии, сельском хозяйстве и т.п. Основные методы получения тонких плёнок Испарение: метод термического вакуумного напыления; электронно-лучевое испарение. Ионное распыление: катодное распыление (ионное распыление); ионно-плазменное распыление; магнетронное распыление; ионно-лучевой синтез.