Ларк-Горовиц (Lark-Horovitz) заострил внимание на возможности нейтронного легирования химического элемента германия. Этот метод в начале 60-х начали применять к кремнию: на его сверхчистых пластинах начали производить методом интегральной технологии так называемые большие интегральные схемы (БИС), затем – сверхбольшие интегральные схемы (СБИС):
БИС содержит 1000-10 000 элементов в кристалле полупроводника (обычно на поверхности кристалла).
СБИС содержит свыше 10 000 элементов.
Возникновение БИС и СБИС сделало возможным появление микропроцессоров.
Четвертое поколение