Гироскопы и актуаторы для МЭМС

МЭМС-гироскопы. Классический гироскоп образца XIX века.

Датчик движения Epson XV-8000.

Основной принцип работы конденсаторных акселерометров

Относительно простой, но чрезвычайно миниатюрный и чувствительный MEMS-акселерометр разработки Sandia Labs

Гироскоп L3G4200D производства ST Microelectronics используется в iPhone 4

Тот же STM L3G4200D, фотография с большим увеличением

Еще один гироскоп ST Microelectronics – LYPR540AH

Крупный план STM LYPR540AH. Толщина деталей этой ажурной конструкции – около 3 микрон!

Еще один MEMS-гироскоп

Основной принцип работы акселерометров на пьезоэлементах

Двухосный термальный акслерометр

Микроэлектромеханический микрофон под микроскопом. Диаметр мембраны чуть больше половины миллиметра

Самый миниатюрный MEMS-микрофон компании Akustica (площадь кристалла – 1 кв.мм) теряется рядом со своими более крупными родственниками

Ультракомпактный и высокоточный датчики давления на фоне одноцентовой монеты (по размеру она примерно эквивалентна нынешним русским 50 копейкам)

Прототип щипцов для микрохирургии глаза. Размеры головки щипцов – порядка 1,5х1,5 миллиметра. Толщина губ – несколько десятков микрон. Человеческий волос этими щипцами подцепить не получится – он для них слишком толстый

MEMS-актуаторы.
DMD-чип в сборе. Сравнительно с другими MEMS, устройство достаточно крупное

Сами микрозеркала чрезвычайно миниатюрны. На фото изображена одна из старых матриц с размером ячейки 16х16 микрон. В более новых DMD-чипах зеркала еще меньше

Так устроен каждый из миллионов используемых в микрозеркальной матрице элементов

Два микрозеркала. Одно в «черном» положении, другое – в «белом». Среднее – «горизонтальное» – положение зеркала занимают только в припаркованном состоянии, когда проектор выключен

Достаточно простое колесико, в нем есть светофильтры только трех стандартных цветов, RGB

Общий принцип работы стандартного DLP-проектора – с одним DMD-чипом

Сходу человеческий разум едва ли способен адекватно оценить размер в 10 микрон. Другое дело – фото в масштабе

Лапка муравья. На фото изображена довольно старая модель DMD-чипа, современные микрозеркала Texas Instruments еще миниатюрнее

Микрозеркальная матрица разработки Фраунгоферовского института полупроводниковых технологий

Зеркало с изменяемой геометрией, состоящее из 93 элементов

Готовый чип на основе той же системы (размер 5 на 5 см) на фоне более крупного снимка поверхности зеркала

Зеркало с изменяемой геометрией, состоящее из 1020 элементов. Разработка Boston Micromachines Corporation

Один из вариантов устройства двухосного микрозеркала

Капли чернил на бумаге

Крупный план одной дюзы печатающей головки струйного принтера

В печатающих головках используются дюзы разных размеров

Одна из ячеек печатающей головки HP 60 в разрезе

«Пайка» контактов на этом снимке произведена с помощью пьезоструйной печати

Микроскопический логотип Texas Instruments напечатан каплями диаметром 60 микрон