Слайд 3Электролитические ячейки для формирования слоев пористого кремния: а – ячейка вертикального типа,
![Электролитические ячейки для формирования слоев пористого кремния: а – ячейка вертикального типа,](/_ipx/f_webp&q_80&fit_contain&s_1440x1080/imagesDir/jpg/1131978/slide-2.jpg)
б – двухкамерная ячейка с жидкостным контактом к Si. 1 – фторопластовая ванна, 2 – кремниевая пластина, 3 – платиновый электрод, 4 – уплотнители, 5 – слой пористого кремния, 6 – металлический электрод
Слайд 61 – изображение структуры пористого кремния на p-Si, полученное на просвечивающем электронном
![1 – изображение структуры пористого кремния на p-Si, полученное на просвечивающем электронном](/_ipx/f_webp&q_80&fit_contain&s_1440x1080/imagesDir/jpg/1131978/slide-5.jpg)
микроскопе. Размеры пор составляют около 50 нм, а кремниевые нити (темные области) имеют диаметр менее 10 нм; 2 – электронно-микроскопический снимок структуры макропористого кремния на n-Si. Размеры пор составляют 0,7–1,0 мкм. Темная область внизу – монокристаллический кремний.
Слайд 7Основные области применения пористого кремния
![Основные области применения пористого кремния](/_ipx/f_webp&q_80&fit_contain&s_1440x1080/imagesDir/jpg/1131978/slide-6.jpg)
Слайд 8Структура ФЭП с антиотражающим слоем ПК
![Структура ФЭП с антиотражающим слоем ПК](/_ipx/f_webp&q_80&fit_contain&s_1440x1080/imagesDir/jpg/1131978/slide-7.jpg)
Слайд 9Спектральная зависимость коэффициента отражения поверхности ФЭП с полированным и текстурированным покрытием и
![Спектральная зависимость коэффициента отражения поверхности ФЭП с полированным и текстурированным покрытием и со слоем ПК](/_ipx/f_webp&q_80&fit_contain&s_1440x1080/imagesDir/jpg/1131978/slide-8.jpg)
со слоем ПК