Физические свойства пористого кремния

Электролитические ячейки для формирования слоев пористого кремния: а – ячейка вертикального типа, б – двухкамерная ячейка с жидкостным контактом к Si. 1 – фторопластовая ванна, 2 – кремниевая пластина, 3 – платиновый электрод, 4 – уплотнители, 5 – слой пористого кремния, 6 – металлический электрод

1 – изображение структуры пористого кремния на p-Si, полученное на просвечивающем электронном микроскопе. Размеры пор составляют около 50 нм, а кремниевые нити (темные области) имеют диаметр менее 10 нм; 2 – электронно-микроскопический снимок структуры макропористого кремния на n-Si. Размеры пор составляют 0,7–1,0 мкм. Темная область внизу – монокристаллический кремний.

Основные области применения пористого кремния

Структура ФЭП с антиотражающим слоем ПК

Спектральная зависимость коэффициента отражения поверхности ФЭП с полированным и текстурированным покрытием и со слоем ПК