primenenie_instrumentov_upr_kach_v_magisterskoy_rabote

НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКАЯ РАБОТА
Название научно-исследовательской работы: «Кристаллизация и легирование пленок аморфного кремния с помощью инфракрасного лазерного излучения»
Цель работы: провести кристаллизацию и легирование пленок аморфного кремния инфракрасным лазером.
Задачи работы: 1) Изучение научно-технической литературы
2) Проведение экспериментов по кристаллизации аморфного кремния
3) Изучение обработанных пленок с помощью Рамановской спектроскопии
4) Сравнение полученных результатов с результатами опытов по кристаллизации кремния инфракрасным излучением с поглощающим металлическим слоем.
5) Проведение экспериментов по кристаллизации и легированию пленок аморфного кремния
6) Анализ полученных результатов.

1 БЛОК-СХЕМА
Рисунок 1 – Блок-схема процесса кристаллизации

2 КОНТРОЛЬНЫЙ ЛИСТ
* На 50 образцов
Таблица 1 – Контрольный лист дефектов

3 ДИАГРАММА ПАРЕТО
Таблица 2 – Накопительный процент дефектов для диаграммы Парето
Рисунок 2 – Диаграмма Парето для определения самых значимых дефектов

4 ДИАГРАММА ИСИКАВЫ
Рисунок 3 – Диаграмма Исикавы для определения причин возникновения дефектов